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.     (   ) .     (   ) (   )

:    . : , 2010. 8. . 65-67.
:
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.

  



PDF. PDF- .

 

:
  1. . . . .: , 2007. 496 .
  2. . . . . : . : 2 . : - , 2004. . 1. 416 .
  3. . ., . . - [ ] // . 2003. 1. URL: http://www.rtc.ru/publication/mehatron.shtml ( : 16.07.2010).
  4. . . : . 95323, , 81 B3/00 / : " ". 2010108272/22. . 05.03.2010. . 27.06.2010. . 18. 2 .
  5. . ., . . - - [ ]. URL: http://www.mems.ru/pdf/Kompetenzia5_6_2006.pdf ( : 01.04.2008).
  6. ELCUT: , [ ] // Elcut. URL: http://elcut.ru/ ( : 16.07.2010).
  7. Korvink, Jan G. MEMS: practical guide to design, analisys and applications. New York: Springer, 2005. 965 p.
  8. Stephen D. Senturia. Microsystem Design. New York - Boston - Dordrecht - London - Moscow, 2002.

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