Архив научных статей

Лицензионное соглашение об использовании научных материалов.

РАЗВИТИЕ ЕМКОСТНЫХ ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ ДЛЯ УСТРОЙСТВ МИКРОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ

1. Головин Ю. И. Введение в нанотехнику. М.: Машиностроение, 2007. 496 с.
2. Гридчин В. А., Драгунов В. П. Физика микросистем: учеб. пособие: в 2-х ч. Новосибирск: Изд-во НГТУ, 2004. Ч. 1. 416 с.
3. Лопота В. А., Юревич Е. И. МЕХАТРОНИКА - основа интеллектуальной техники будущего [Электронный ресурс] // Микросистемная техника. 2003. № 1. URL: http://www.rtc.ru/publication/mehatron.shtml (дата обращения: 16.07.2010).
4. Нурулин Ю. Р., Пятышев Е. Н. Микротехнологии и микроэлектромеханические системы - перспективное научно-инновационное направление [Электронный ресурс]. URL: http://www.mems.ru/pdf/Kompetenzia5_6_2006.pdf (дата обращения: 01.04.2008).
5. Патент на полезную модель 95323. Российская Федерация. МПК В81 B3/00. Электромеханизм / автор Д. Ю. Ляпунов, патентообладатель ГОУ ВПО "Томский политехнический университет". № 2010108272/22; заявл. 05.03.2010; опубл. 27.06.2010. Бюл. № 18. 2 с.
6. ELCUT программа моделирования электромагнитных, тепловых и механических задач [Электронный ресурс]. URL: http://elcut.ru/ (дата обращения: 16.07.2010).
7. Korvink Jan G. MEMS: a practical guide to design, analisys and applications. New York: Springer, 2005. 965 p.
8. Stephen D. Senturia. Microsystem Design. New York, Boston, Dordrecht, London, Moscow, 2002.