Список литературы:
- Головин Ю. И. Введение в нанотехнику. М.: Машиностроение, 2007. 496 с.
- Гридчин В. А. Драгунов В. П. Физика микросистем: учеб. пособие: в 2 ч. Новосибирск: Изд-во НГТУ, 2004. Ч. 1. 416 с.
- Лопота В. А., Юревич Е. И. МЕХАТРОНИКА - основа интеллектуальной техники будущего [Электронный ресурс] // Микросистемная техника. 2003. № 1. URL: http://www.rtc.ru/publication/mehatron.shtml (дата обращения: 16.07.2010).
- Ляпунов Д. Ю. Электромеханизм: пат. на полезную модель 95323, Российская Федерация, МПК В81 B3/00 / патентообладатель: ГОУ ВПО "Томский политехнический университет". № 2010108272/22. Заявл. 05.03.2010. Опубл. 27.06.2010. Бюл. № 18. 2 с.
- Нурулин Ю. Р., Пятышев Е. Н. Микротехнологии и микроэлектромеханические системы - перспективное научно-инновационное направление [Электронный ресурс]. URL: http://www.mems.ru/pdf/Kompetenzia5_6_2006.pdf (дата обращения: 01.04.2008).
- ELCUT: программа моделирования электромагнитных, тепловых и механических задач [Электронный ресурс] // Сервер поддержки программы Elcut. URL: http://elcut.ru/ (дата обращения: 16.07.2010).
- Korvink, Jan G. MEMS: а practical guide to design, analisys and applications. New York: Springer, 2005. 965 p.
- Stephen D. Senturia. Microsystem Design. New York - Boston - Dordrecht - London - Moscow, 2002.
|